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用于清潔氣體的微機電系統(tǒng)質(zhì)量流量傳感器和儀表 微機電系統(tǒng)質(zhì)量流量傳感器采用公司專有的微機電系統(tǒng)質(zhì)量流量傳感技術(shù)制造，具有大動態(tài)范圍、高精度和長壽命的特點。微機電系統(tǒng)傳感元件設計有壓力平衡器，允許在高工作壓力下應用。典型的應用包括: 1.醫(yī)療器械或設備，如呼吸機、麻醉設備、哮喘檢測器、自動旋轉(zhuǎn)儀、內(nèi)窺鏡、伽瑪?shù)?、CPAP等等 2.過程控制和監(jiān)控如焊接過程、氣體混合器、食品包裝機器人控制、堵塞感應風扇監(jiān)控等等 3.使用儀器，如氣相色譜光譜儀、氣體控制設備、空氣取樣器、泄漏檢測、氣體分析儀等 4.半導體設備例如管芯附著、引線鍵合機、濕化學工作臺監(jiān)控器 5.智能家居/暖通空調(diào)，提供對通風櫥通風的監(jiān)控和效率反饋。 Siargo成立于2003年，是****的微機電系統(tǒng)質(zhì)量流量傳感產(chǎn)品供應商，我們正在將我們的技術(shù)擴展到微流體、壓力和氣體傳感產(chǎn)品和應用